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碳化硅外延技術規(guī)范
文章作者：poshing 上傳更新：2024-09-25
| 型號 | 4英寸N型 | 6英寸N型 |
| 厚度 | 120微米及以下 | 120微米及以下 |
| 濃度區(qū)間 | 2E14-1E19 cm-3 | 8E14-1E19 cm-3 |
| 濃度均勻性 | ≤8% | ≤8% |
| 厚度均勻性 | ≤2% | ≤2% |
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